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高精密气浮平台空气轴承大理石运动系统

产品/服务:
品 牌: 智德
有效期至: 长期有效
最后更新: 2019-09-09 13:53
单价:
20000.00元/ 套
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1 套
供货总量:
1 套
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公司基本资料信息






  • 详细说明
  • 规格参数
?超精密气浮平台 特性

? ? ? ?超高精密:分辨率10nm,重复精度50nm,定位精度:100nm
? ? ? ?超稳定性:花岗石机台,气浮导轨,直线电机驱动,匀速段速度波动低于0.05%
? ? ? ?高动态性:高加速度,高响应,静音平稳运行,同时保持长期优越的稳定性


? 超精密气浮平台 应用

? ? ? ? 半导体制造、激光成像、平板显示器制造、激光切割、精密测量等高精度定位的场合
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